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Annales de Chimie - Science des Matériaux

0151-9107
 

 ARTICLE VOL 36/1 - 2011  - pp.37-43  - doi:10.3166/acsm.36.37-43
TITRE
Caractérisation de films minces de TiO2 préparés par dépôt dans un bain chimique

TITLE
Characterisation of TiO2 thin films prepared by chemical bath deposition

RÉSUMÉ

Des films minces de TiO2 nanométrique ont été déposés sur différents substrats, le verre et l'oxyde d'étain dopé à l’indium (ITO), en utilisant le procédé de déposition dans un bain chimique. Les échantillons ont subi ensuite un recuit à la température de 600°C. Les propriétés structurales ont été étudiées par la diffraction des rayons X (DRX) et la microscopie électronique à balayage (MEB-FEG) munie d’un spectromètre de rayons X (EDX). Les propriétés optiques ont été étudiées par spectrophotométrie UV-Vis. Les couches minces de TiO2 Anatase et Rutile obtenues sont très adhérentes et homogènes. Les mesures optiques révèlent que le gap optique dépend fortement de la nature du substrat et varie entre 2.89 et 3.11 eV.



ABSTRACT

Nanometer titanium dioxide (TiO2) films were successfully deposited on different substrates, glass and Indium-doped Tin Oxide (ITO), using a chemical bath deposition (CBD) method and annealed at high temperature: 600°C. The structural properties were studied by X-ray diffraction (XRD), Field Emission Gun-scanning electron microscopy (FEG-SEM) and the chemical composition was investigated using energy-dispersive X-ray analysis (EDX). The optical properties of our films were studied using UV-Vis spectrophotometry. The main features of the obtained films consist in firmly adhesive and homogeneous Anatase and Rutile TiO2 films. The optical measurements reveal that the band gap value varies from 2.89 up to 3.11 eV depending strongly on the nature of the substrate.



AUTEUR(S)
Abdeslam ELFANAOUI, Lahcen BOULKADDAT, Abdelhafed TALEB, Ahmed IHLAL, Elhoussine ELHAMRI, Mohamed MEDDAH, Khalid BOUABID, Xavier PORTIER, Abdelkader OUTZOURHIT, Larbi LAANAB

Reçu le 14 février 2011.    Accepté le 24 juin 2011.

BIBLIOGRAPHIE
acsm.revuesonline.com/revues/36/10.3166/acsm.36.37-43.html

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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