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Annales de Chimie - Science des Matériaux

0151-9107
 

 ARTICLE VOL 40/1-2 - 2016  - pp.9-15  - doi:10.3166/acsm.40.9-15
TITRE
Influence de la tension de polarisation du substrat sur la microstructure et les propriétés tribologiques de revêtements CrN.

TITLE
Effect of substrate bias voltage on the microstructure and tribological properties or CrN coating

RÉSUMÉ

Des revêtements de CrN ont été déposés sur un acier inoxydable et du silicium par pulvérisation magnétron réactive en faisant varier la tension de polarisation du substrat. L'influence de cette tension de polarisation sur la structure et les propriétés tribologiques des films a été étudiée. Les résultats indiquent que l'augmentation de la polarisation du substrat a une influence importante sur les caractéristiques des revêtements: du point de vue microstructural, on constate l’augmentation de la taille des grains avec la polarisation. Le coefficient de frottement, tout comme le taux d'usure, est fortement influencé par la tension de polarisation du substrat.



ABSTRACT

CrN films were deposited on stainless steel and silicon substrates via magnetron reactive sputtering under a systematic variation of the substrate bias voltage. The influence of this substrate bias voltage on the structural and tribological properties of the films has been investigated. The results indicate that increasing the negative bias voltage has a large influence on the characteristic of the coatings: concerning their microstructure, we observed that the grain size increased. Moreover their coefficient of friction and wear rate are also influenced by the bias voltage.



AUTEUR(S)
Khalil AOUADI, Corinne NOUVEAU, Aurélien BESNARD, Brahim TLILI, Moez CHAFRA

Reçu le 1 octobre 2015.    Accepté le 7 janvier 2016.

CITATIONS
acsm.revuesonline.com/revues/36/citation/36221.html

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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