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Annales de Chimie - Science des Matériaux

0151-9107
 

 ARTICLE VOL 29/4 - 2004  - pp.15-19  - doi:10.3166/acsm.29.4.15-19
TITRE
Influence de l’'épaisseur sur les propriétés des films d’oxyde d'’indium

TITLE
Thickness-dependent properties of indium oxide films

RÉSUMÉ

Pour les films transparents à haute conductivité, l’'épaisseur est un paramètre important. L'’effet de l’'épaisseur sur les propriétés structurales, électriques et optiques des films conducteurs et transparents d'’oxyde d'’indium (In2O3) a été étudiées. Des films minces d'’oxyde d’'indium ayant des épaisseurs différentes sont obtenus par évaporation thermique d’un mélange d'’oxyde d'’indium et d'’indium métallique. Ces films manifestent une conductivité électrique supérieure à 103 (Ω.cm)-1 et une transmission optique dans le visible supérieure à 80 %



ABSTRACT

For highly conducting transparent films, thickness is an important parameter. The thickness dependence of microstructural, electrical and optical properties of transparent conducting indium oxide films (In2O3) was studied. Thin films of indium oxide having different thicknesses were prepared by thermal reactive evaporation of a mixture of indium oxide and metallic indium. These films showed a conductivity of more than 103 (Ω.cm)-1 and a transmittance of more than 80 % in the visible region.



AUTEUR(S)
Abdelillah HAKAM, Lhousseine OUBOUMALK, Mohammed BANOUQ, El Houssaine EL RHALEB, Mohammed WALIA-ALLAH

Reçu le 4 décembre 2001.    Accepté le 31 janvier 2002.

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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