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Annales de Chimie - Science des Matériaux

0151-9107
 

 ARTICLE VOL 32/2 - 2007  - pp.141-158  - doi:10.3166/acsm.32.141-158
TITRE
Procédés plasma pour la modification ou l’'élaboration de membranes

TITLE
Plasma processes for membranes modification or manufacture

RÉSUMÉ

Les procédés plasma ont été initialement développés pour la microélectronique dans les années 50. Ils représentent une technologie à la fois propre, produisant peu ou pas d’effluents, et extrêmement souple dont l’'équipement de base permet d'’atteindre des objectifs aussi divers que singuliers en termes de propriétés d'’usage spécifiques. Forts de ces avantages, ils sont aujourd’'hui utilisés dans de nombreux domaines de la chimie des matériaux, notamment pour la modification ou la synthèse de membranes. Selon la nature du gaz précurseur du plasma et par le choix de conditions opératoires adéquates, il est possible par de tels procédés, de réaliser des traitements de surface (par réticulation, greffage et/ou gravure) en vue de modifier les propriétés de surface (rugosité, adhésion, hydrophobie…) de membranes polymères, ou d'’élaborer des couches minces inorganiques ou hybrides de grandes stabilités chimique et thermique. Cet article présente trois nouveaux procédés plasma développés en laboratoire et destinés à modifier ou synthétiser des membranes « sur mesure » : la modification de surface de membranes par des plasmas de gaz fluorés, et l'’utilisation du procédé en configuration dépôt pour la préparation de membranes pour la séparation de gaz et de vapeurs d'’une part, de membranes à conduction ionique pour micro piles à combustible d'’autre part.



ABSTRACT

Plasma processes were initially developed for micro-electronics in the fifties. They represent a clean (producing few or not effluents) and also extremely flexible technology whose basic equipment makes it possible to achieve goals as various as singular in terms of specific properties of use. Based on these advantages, they are used today in many fields of the chemistry of materials and in particular for the modification or manufacture of membranes. Depending on the nature of the gaseous precursor and by adjusting the process parameters, it is possible to perform surface modifications (cross-linking, grafting, etching) in order to change surface properties (like roughness, hydrophobicity or adhesion) of conventional polymer membranes, or to prepare inorganic or hybrid thin films with high thermal and chemical stabilities. This paper presents three different new lab-scale plasma processes used to synthesize or modify tailor-made membranes: surface modification of membranes induced by fluorocarbon plasmas and use of the plasma enhanced CVD technique to manufacture membranes for gas and vapor separation, and ion-conducting membranes for micro-fuel cells.



AUTEUR(S)
Jean DURAND, Vincent ROUESSAC, Stéphanie ROUALDES

Reçu le 24 janvier 2007.    Accepté le 1 mars 2007.

CITATIONS
acsm.revuesonline.com/revues/36/citation/9701.html

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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